説明
| 番号 | GB/T 16527-1996 |
| 名称（日本語） | |
| 名称（中国語） | 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范 |
| 名称（英語） | Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates |
| 状態 | |
| 中国標準分類号（CCS） | L90 |
| 国際標準分類号（ICS） | 31.200 |
| 公布日 | |
| 発効日 | 1997/05/01 |
| 主管部門 | 中华人民共和国电子工业部 |
| 帰属組織 | 电子工业部标准化研究所 |
| 標準分類 | |
| 原文ページ数 | 5 |
| 正規価格（税込、円） | 22000 |
