説明
番号 | GB/T 16527-1996 |
名称(日本語) | |
名称(中国語) | 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范 |
名称(英語) | Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates |
状態 | |
中国標準分類号(CCS) | L90 |
国際標準分類号(ICS) | 31.200 |
公布日 | |
発効日 | 1997/05/01 |
主管部門 | 中华人民共和国电子工业部 |
帰属組織 | 电子工业部标准化研究所 |
標準分類 | |
原文ページ数 | 5 |
正規価格(税込、円) | 22000 |