説明
番号 | GB/T 19922-2005 |
名称(日本語) | |
名称(中国語) | 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 |
名称(英語) | Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning |
状態 | |
中国標準分類号(CCS) | H17 |
国際標準分類号(ICS) | 77.040.01 |
公布日 | |
発効日 | 2006/04/01 |
主管部門 | 中国有色金属工业协会 |
帰属組織 | 全国有色金属标准化技术委员会 |
標準分類 | |
原文ページ数 | 6 |
正規価格(税込、円) | 30800 |