説明
| 番号 | GB/T 19922-2005 |
| 名称（日本語） | |
| 名称（中国語） | 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 |
| 名称（英語） | Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning |
| 状態 | |
| 中国標準分類号（CCS） | H17 |
| 国際標準分類号（ICS） | 77.040.01 |
| 公布日 | |
| 発効日 | 2006/04/01 |
| 主管部門 | 中国有色金属工业协会 |
| 帰属組織 | 全国有色金属标准化技术委员会 |
| 標準分類 | |
| 原文ページ数 | 6 |
| 正規価格（税込、円） | 30800 |
