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GB/T 6616-2009 日本語訳【要納期確認】

¥18,700 税込

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説明

 
番号 GB/T 6616-2009
名称(日本語)
名称(中国語) 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法
名称(英語) Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge
状態
中国標準分類号(CCS) H80
国際標準分類号(ICS) 29.045
公布日
発効日 2010/06/01
主管部門 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
帰属組織 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
標準分類
原文ページ数 5
正規価格(税込、円) 24200