説明
番号 | GB/T 6624-2009 |
名称(日本語) | |
名称(中国語) | 硅抛光片表面质量目测检验方法 |
名称(英語) | Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection |
状態 | |
中国標準分類号(CCS) | H80 |
国際標準分類号(ICS) | 29.045 |
公布日 | |
発効日 | 2010/06/01 |
主管部門 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
帰属組織 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
標準分類 | |
原文ページ数 | 2 |
正規価格(税込、円) | 11000 |